Beschreibung
Manuell beladbarer Chargen-Druckhärteofen mit optionaler Konduktionsheizplatte für 300-mm-Wafer.
Anlagenmerkmale
- Größe des Ofens (mm): 1.800[L] x 1.400[B] x 1.700[H]
- Nutzbare Fläche der Kammer (mm): 350[L] x 350[B] x 227[H]
- Max. Betriebsdruck: 12 Bar (174 psi)
- Maximale Betriebstemperatur: 200⁰ C (Zwangsluftkonvektion)
- 350⁰ C (Option Konduktionsplatte)
- Manuelle Beladung
- Externer Kühler Option
Bilder
