Beschreibung

  • Auto Refill Formic Bubbler
  • Ameisensäure-Abgasreinigungssystem
  • Echtzeitüberwachung der Ameisensäurekonzentration und O2 PPM
  • Ameisensäure- und Kohlenmonoxid-Sicherheitssensoren
  • SEMI S2/S8-konform

Technische Daten

Oven Length 590cm
Heated Zones 10 Top / 10 Bottom
Total Heated Length 348 cm
Cool Zones 3 Top (Bottom Option)
Max Working Temperature Standard: 350°C Option: 400°C
Cleanroom Option Down to Class 1000
Formic Acid Stability in Soak Zone +/- 1%

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